Chemshunalumina oblea leuntzeko plaka/mahai birakariak % 99,7-99,9ko alumina purutasun handikoa da. Alumina zeramikako purutasunak zurruntasun bikaina eta higadura-erresistentzia bikaina ditu obleak leuntzeko, eta gainazalaren forma ona mantentzen du denbora luzez. PIBM bidez moldatzen da. Erdieroaleen industriako kidea da, bere egonkortasun termiko eta dimentsio paregabeagatik eta mikrotxipen prozesatzeko ekipoen ingurune gogorrei aurre egiteko erresistentziagatik.
Planarizazio Kimiko-Mekanikoa (CMP), Leuntze Kimiko-Mekanikoa bezala ere ezaguna, erdieroaleen gailuen fabrikazio-prozesuan erabiltzen den teknologia da. Korrosio kimikoa eta indar mekanikoak erabiltzen ditu siliziozko obleak edo beste substratu-material batzuk lausteko prozesamenduan zehar.
CMP ekipamendua bi zatitan banatzen da batez ere: leuntzeko zatia eta garbitzeko zatia. Leuntzeko zatiak 4 zati ditu, hots, 3 leuntzeko biraketa-plataforma eta oblea kargatzeko eta deskargatzeko modulua. Garbiketa zatiak oblea garbitzeaz eta lehortzeaz arduratzen da, oblearen "lehortzea" lortzeko. Leuntzeko ekipamendu osoan, alumina zeramikaz eginkizun garrantzitsua da.
Alumina zeramikak normalean oblea leuntzeko diskoak prestatzeko erabiltzen dira, eta horiek purutasun handia, iraunkortasun kimiko handia eta gainazalaren formaren eta zimurtasunaren kontrol ona behar dituzte.
Chemshun % 99,7ko Al2O3 zeramikazko ehotzeko diskoa zeramikazko material aurreratuekin egina dago, hainbat material fin ehotzeko egokia, batez ere material hauskorrak ehotzeko, hala nola obleak, zeramika eta beira. Gure zeramikazko ehotzeko diskoa tamaina desberdinetan egin daiteke, ehotzeko eta leuntzeko eredu desberdinen arabera.
Argitaratze data: 2025eko maiatzaren 30a