Erdieroaleen industriaren garapen azkarrarekin, industriaren eskala azkar handitu da, eta erdieroaleen fabrikazio-ekipoak zehaztasun eta konplexutasunerantz eboluzionatzen jarraitu du. Zeramiken abantailak gogortasun handia, elastikotasun-modulu handia, higadura-erresistentzia handia, isolamendu handia, korrosioarekiko erresistentzia, hedapen txikia eta abar direla eta, siliziozko leuntzeko makinen, epitaxial/oxidazio/difusio tratamendu termikoko ekipoen, litografia-makinen, deposizio-ekipoen, erdieroaleen grabatzeko ekipoen, ioien inplantazio-makinen eta beste ekipo batzuen pieza gisa erabil daitezke, beraz, zehaztasun handiko zeramikazko piezen ikerketak, garapenak eta ekoizpenak zuzenean eragiten die erdieroaleen industriaren garapenari. Bere prestaketaren eskakizun teknikoak gero eta handiagoak dira.
Purutasun handiko alumina, % 99,7-% 99,9ko alumina.
Erresistentzia mekaniko handia, higadura-erresistentzia handia, isolamendu elektriko handia, egonkortasun kimiko handia, bero-erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia ona. Gaur egun, zeramikazko ehotzeko diskoa erabiltzea da ehotzeko metodorik onena eta aurreratuena. Bi aldeetako ehotzeko prozesua erabiltzen da moztutako siliziozko oblea ehotzeko, eta ehotzeko oblearen kalitatea hobetzen da ehotzeko prozesua hobetuz (diskoaren materiala, ehotzeko fluidoa, ehotzeko presioa eta ehotzeko abiadura, etab.). Bereziki, burdinurtuzko plaken ordez zeramikazko plakak erabiltzeak, oblearen gainazal nagusian orbainek edo kutsadurak eragindako ehotzea saihesteko, metal ioien sarrera murrizteko, silizioaren ondorengo prozesamendua murriztu, ondorengo prozesuaren (korrosioaren) denbora laburtu, ekoizpen-eraginkortasuna hobetu eta silizioaren prozesamenduaren galerak murrizteko, silizioaren erabilera asko hobetuz.
Alumina handiko oblea leuntzeko plakaerdieroaleetan, petrolioan, produktu kimikoetan, fotovoltaikoetan, kristal likidoetan eta beste industria batzuetan erabiltzen da, hala nola pieza mekanikoetan, pieza elektronikoetan, mikrouhinen indukzio-diskoetan, isolamendu-materialetan eta beste pieza batzuetan, erdieroale-gailuetan, huts-ekipoetan, kristal likidoen fabrikazio-ekipoetan eta beste pieza batzuetan. Tamaina handiko eta purutasun handiko alumina zeramikak aplikazio-balio garrantzitsua dute zafiroaren industrian eta erdieroale-txipen industrian. Zafiroaren eta erdieroale-siliziozko obleak leuntzeko euskarri eta kontsumigarri garrantzitsua da (CMP). Tamaina handiko eta purutasun handiko alumina zeramikak LCDrako alumina substratu gisa ere erabil daitezke.
Argitaratze data: 2024ko ekainaren 27a